![]() |
الاسم التجاري: | Suneast |
رقم الطراز: | سيو-100N |
موك: | ≥1 قطعة |
السعر: | قابل للتفاوض |
تفاصيل التغليف: | صندوق الخشب الرقائقي |
شروط الدفع: | T/T |
سعة عالية PID ضبط نصف الموصلات الفرن SEO سلسلة ضيق الهواء
فرن أشباه الموصلات مع النيتروجين مليئة لديها عالمية قوية، واستقرار عالية وأداء عال. انها تتبنى نظام إعادة تدوير الهواء الأفقي عالية القدرة،يتبنى هيكل غرفة خاصة وتكنولوجيا الختم، مع ضيق الهواء الممتازة وتوحيد درجة الحرارة لتلبية متطلبات الأداء العالية من منتجات أشباه الموصلات. هذا الفرن مناسب لتقوية رقائق أشباه الموصلات،حزم IC (الترابط النحاسي)، جيل الفضة، جيل السيليكا، الراتنج الايبوكسي) ، الركائز الزجاجية والمنتجات الأخرى.
التكنولوجيا الأساسية
01 نظام الهواء الساخن عالي القدرة الأفقي لإعادة الدوران لتحقيق توحيد درجة الحرارة عالية الأداء
02 الغرفة هي تصميم مغلق بالكامل، واعتمد صفيحة الفولاذ المقاوم للصدأ، مع ضيق الهواء جيدة، وتوفير النيتروجين
03 محرك محور طويل المقاوم لدرجات الحرارة العالية ، وشفرة توربين كبيرة الحجم ، والتي يمكن أن تعمل بشكل مستقر في بيئة درجات الحرارة العالية لفترة طويلة
04 سرعة التسخين قابلة للسيطرة ، تشغيل مفتاح واحد لتحديد ملف العملية ، مع نظام تبريد للتبريد ، والذي يمكن أن يحسن بكفاءة فعالة من كفاءة الإنتاج
05 تحكم دقة عالية في درجة الحرارة، ضبط PID، يمكن أن تصل دقة التحكم إلى 0.5 °C، التحكم الموثوق به، استخدام آمن
06 معالجة نظيفة فعالة ، اختبار الشيخوخة في غرفة نظيفة ألف درجة ، لتلبية متطلبات ورشات العمل والمنتجات الخالية من الغبار في أشباه الموصلات
07 التحكم في نسبة الأكسجين المنخفضة، ومراقبة في الوقت الحقيقي، نظام تحليل قناة مزدوجة يمكن التحكم في محتوى الأكسجين في حدود 50PPM
خصائص المنتج:
هيكل غرفة فرن نصف الموصل
يتم تجهيز الصناديق العليا والسفلية بنظام تداول الهواء الساخن ، ويمكن ضبط سرعة الهواء وحجمها ، ويمكن تشغيل معايير العملية المختلفة بشكل مستقل.غرفة الفرن مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ عالية الجودةتم تجهيز الفرن بأقواس طبقاتية لتحسين استغلال المساحة.
نظام النيتروجين في فرن نصف الموصل
ملء النيتروجين داخل الغرفة، مجهزة بمقاييس تدفق متعددة، مع وظيفة ضبط مستقلة، لضمان الاستخدام المعقول للنيتروجين، التوزيع المتوازن.مع تحليل الأكسجين متعدد القنوات، يمكن التحكم في قيمة محتوى الأكسجين في الوقت الفعلي في الغرف العليا والسفلية بشكل منفصل ، ويمكن التحكم في محتوى الأكسجين في غرفة واحدة في حدود 500PPM (خيار:في حدود 100PPM).
نظام تبريد فرن نصف الموصل
يتم تبني نظام تبريد الماء. تبريد المياه الناتج عن انفجار المبرد، عندما تكون درجة الحرارة في الفرن باردة، فإن المنفخة سوف تبادل الحرارة من خلال المبرد الناتج عن انفجار المبرد بسرعة،يقلل كثيرا من وقت التبريد. نظام تبريد فريد ، وتجنب التبريد الفوري توسع البخار في درجة حرارة عالية ، والتي تحمي بشكل فعال جودة المنتج.
نظام حماية أمان الموقد شبه الموصل
مع الحماية من ارتفاع درجة الحرارة (لتجنب ارتفاع درجة حرارة الاستوديو وحماية المنتج) ، عندما يحدث حالة ارتفاع درجة الحرارة، فإنه سيتم قطع الطاقة على الفور،في نفس الوقتهناك إنذار لتذكير الموظفين، حماية أفضل للمنتجات؛ السيطرة والحماية من محتوى الأكسجين الزائد؛ حماية إنذار ضغط منخفض النيتروجين.يتم تجهيز الصناديق العليا والسفلية بأقفال أمان إلكترونية، والمعدات لديها مفتاح وقف الطوارئ.
اختبار وضوح فرن شبه الموصل
بعد الاختبار ، يبلغ تركيز جزيئات 0.5μm ≤35200 ، مما يلبي متطلبات الإنتاج في ورشة عمل نظيفة خالية من الغبار عالية النظافة من الدرجة الآلافية.
اختبار ملف حرارة فرن شبه الموصل
مراقب درجة الحرارة عالي الدقة، تنظيم PID، نظام الهواء الساخن التداول الأفقي ذو القدرة العالية، والذي يمكن أن يحقق توحيد درجة الحرارة عالية الأداء.
معايير المنتج:
رقم النموذج | SEO-100N |
جزء الصندوق | |
أبعاد الصندوق | 700 ((L) * 550 ((W) * 600 * 2) ((H) ملم |
عدد الصناديق ونمط العمل |
صناديق اثنين، كل صندوق يمكن تشغيل بشكل مستقل |
نظام الهواء الحار | نظام تداول الهواء الساخن مع سرعة الهواء والحجم القابلة للتعديل |
نظام التبريد | نظام تدوير المياه التبريد، وفقا للعميل ورشة عمل المياه التبريد |
نظام النيتروجين | مع مقياس تدفق ومحلل الأكسجين لعرض محتوى الأكسجين في الوقت الحقيقي |
المواصفات الداخلية | مجهزة بمرفقات دعم الفولاذ المقاوم للصدأ ، مع مسافة قابلة للتعديل بين الرفوف |
نظام التحكم | |
نطاق الحرارة التشغيلية | درجة حرارة الغرفة +10°C ~ 250°C |
وضع تحكم درجة الحرارة | التحكم في الحلقة المغلقة PID + محرك SSR |
نظام التحكم | نظام التحكم الكهربائي لـ PC + PLC ، واجهة تشغيل Windows |
دقة الحرارة | ± 0.5°C |
توحيد درجة الحرارة | ± 1.5% درجة حرارة ((بدون حمولة) |
وقت التسخين | ≤15 دقيقة ((200 درجة مئوية بدون حمولة) |
معدل التبريد | 2-5°C/min |
طاقة التدفئة | 10KW*2 |
مراقبة محتوى الأكسجين | ≤500PPM (خيار:≤50PPM) |
الجهد العامل | AC3Ø 5W 380V 50/60HZ |
الطاقة الكلية | 21 كيلوواط |
بروتوكول الاتصال MES | المعيار |
فئة النظافة | الفئة 1000 |
معايير الجهاز | |
البعد ((LxWxH) | 1700 ((L) * 1200 ((W) * 1800 ((H) ملم |
الوزن | 500-800 كجم |
اللون |
أبيض مشرق مجعد |
الإعلانات:
1متطلبات مصدر الغاز: ضغط عمل النيتروجين (ضغط أثناء الاستخدام) > 0.5 إلى 0.8Mpa، نقاء النيتروجين 99.999٪.
2متطلبات الطاقة:
1سلك ثلاثي المرحلة الخامسة: الجهد 380 فولت، التردد 50/60 هرتز؛
2قطر السلك أعلى من 25mm2، مفتاح حماية التسرب 100A، مفتاح حماية التسرب سعة تسرب 150-200mA.
3متطلبات الضغط على الأرض: 1000 كجم/م2.
4متطلبات التهوية الخارجية: قناة الهواء ذات القطر الخارجي 2-Ø38mm، حجم التهوية 2*5M3/min.
5المتطلبات البيئية: يجب أن تكون درجة حرارة المحيط بين 5-40 درجة مئوية ، و يجب أن تكون نطاق الرطوبة النسبية بين 20-95٪.
![]() |
الاسم التجاري: | Suneast |
رقم الطراز: | سيو-100N |
موك: | ≥1 قطعة |
السعر: | قابل للتفاوض |
تفاصيل التغليف: | صندوق الخشب الرقائقي |
شروط الدفع: | T/T |
سعة عالية PID ضبط نصف الموصلات الفرن SEO سلسلة ضيق الهواء
فرن أشباه الموصلات مع النيتروجين مليئة لديها عالمية قوية، واستقرار عالية وأداء عال. انها تتبنى نظام إعادة تدوير الهواء الأفقي عالية القدرة،يتبنى هيكل غرفة خاصة وتكنولوجيا الختم، مع ضيق الهواء الممتازة وتوحيد درجة الحرارة لتلبية متطلبات الأداء العالية من منتجات أشباه الموصلات. هذا الفرن مناسب لتقوية رقائق أشباه الموصلات،حزم IC (الترابط النحاسي)، جيل الفضة، جيل السيليكا، الراتنج الايبوكسي) ، الركائز الزجاجية والمنتجات الأخرى.
التكنولوجيا الأساسية
01 نظام الهواء الساخن عالي القدرة الأفقي لإعادة الدوران لتحقيق توحيد درجة الحرارة عالية الأداء
02 الغرفة هي تصميم مغلق بالكامل، واعتمد صفيحة الفولاذ المقاوم للصدأ، مع ضيق الهواء جيدة، وتوفير النيتروجين
03 محرك محور طويل المقاوم لدرجات الحرارة العالية ، وشفرة توربين كبيرة الحجم ، والتي يمكن أن تعمل بشكل مستقر في بيئة درجات الحرارة العالية لفترة طويلة
04 سرعة التسخين قابلة للسيطرة ، تشغيل مفتاح واحد لتحديد ملف العملية ، مع نظام تبريد للتبريد ، والذي يمكن أن يحسن بكفاءة فعالة من كفاءة الإنتاج
05 تحكم دقة عالية في درجة الحرارة، ضبط PID، يمكن أن تصل دقة التحكم إلى 0.5 °C، التحكم الموثوق به، استخدام آمن
06 معالجة نظيفة فعالة ، اختبار الشيخوخة في غرفة نظيفة ألف درجة ، لتلبية متطلبات ورشات العمل والمنتجات الخالية من الغبار في أشباه الموصلات
07 التحكم في نسبة الأكسجين المنخفضة، ومراقبة في الوقت الحقيقي، نظام تحليل قناة مزدوجة يمكن التحكم في محتوى الأكسجين في حدود 50PPM
خصائص المنتج:
هيكل غرفة فرن نصف الموصل
يتم تجهيز الصناديق العليا والسفلية بنظام تداول الهواء الساخن ، ويمكن ضبط سرعة الهواء وحجمها ، ويمكن تشغيل معايير العملية المختلفة بشكل مستقل.غرفة الفرن مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ عالية الجودةتم تجهيز الفرن بأقواس طبقاتية لتحسين استغلال المساحة.
نظام النيتروجين في فرن نصف الموصل
ملء النيتروجين داخل الغرفة، مجهزة بمقاييس تدفق متعددة، مع وظيفة ضبط مستقلة، لضمان الاستخدام المعقول للنيتروجين، التوزيع المتوازن.مع تحليل الأكسجين متعدد القنوات، يمكن التحكم في قيمة محتوى الأكسجين في الوقت الفعلي في الغرف العليا والسفلية بشكل منفصل ، ويمكن التحكم في محتوى الأكسجين في غرفة واحدة في حدود 500PPM (خيار:في حدود 100PPM).
نظام تبريد فرن نصف الموصل
يتم تبني نظام تبريد الماء. تبريد المياه الناتج عن انفجار المبرد، عندما تكون درجة الحرارة في الفرن باردة، فإن المنفخة سوف تبادل الحرارة من خلال المبرد الناتج عن انفجار المبرد بسرعة،يقلل كثيرا من وقت التبريد. نظام تبريد فريد ، وتجنب التبريد الفوري توسع البخار في درجة حرارة عالية ، والتي تحمي بشكل فعال جودة المنتج.
نظام حماية أمان الموقد شبه الموصل
مع الحماية من ارتفاع درجة الحرارة (لتجنب ارتفاع درجة حرارة الاستوديو وحماية المنتج) ، عندما يحدث حالة ارتفاع درجة الحرارة، فإنه سيتم قطع الطاقة على الفور،في نفس الوقتهناك إنذار لتذكير الموظفين، حماية أفضل للمنتجات؛ السيطرة والحماية من محتوى الأكسجين الزائد؛ حماية إنذار ضغط منخفض النيتروجين.يتم تجهيز الصناديق العليا والسفلية بأقفال أمان إلكترونية، والمعدات لديها مفتاح وقف الطوارئ.
اختبار وضوح فرن شبه الموصل
بعد الاختبار ، يبلغ تركيز جزيئات 0.5μm ≤35200 ، مما يلبي متطلبات الإنتاج في ورشة عمل نظيفة خالية من الغبار عالية النظافة من الدرجة الآلافية.
اختبار ملف حرارة فرن شبه الموصل
مراقب درجة الحرارة عالي الدقة، تنظيم PID، نظام الهواء الساخن التداول الأفقي ذو القدرة العالية، والذي يمكن أن يحقق توحيد درجة الحرارة عالية الأداء.
معايير المنتج:
رقم النموذج | SEO-100N |
جزء الصندوق | |
أبعاد الصندوق | 700 ((L) * 550 ((W) * 600 * 2) ((H) ملم |
عدد الصناديق ونمط العمل |
صناديق اثنين، كل صندوق يمكن تشغيل بشكل مستقل |
نظام الهواء الحار | نظام تداول الهواء الساخن مع سرعة الهواء والحجم القابلة للتعديل |
نظام التبريد | نظام تدوير المياه التبريد، وفقا للعميل ورشة عمل المياه التبريد |
نظام النيتروجين | مع مقياس تدفق ومحلل الأكسجين لعرض محتوى الأكسجين في الوقت الحقيقي |
المواصفات الداخلية | مجهزة بمرفقات دعم الفولاذ المقاوم للصدأ ، مع مسافة قابلة للتعديل بين الرفوف |
نظام التحكم | |
نطاق الحرارة التشغيلية | درجة حرارة الغرفة +10°C ~ 250°C |
وضع تحكم درجة الحرارة | التحكم في الحلقة المغلقة PID + محرك SSR |
نظام التحكم | نظام التحكم الكهربائي لـ PC + PLC ، واجهة تشغيل Windows |
دقة الحرارة | ± 0.5°C |
توحيد درجة الحرارة | ± 1.5% درجة حرارة ((بدون حمولة) |
وقت التسخين | ≤15 دقيقة ((200 درجة مئوية بدون حمولة) |
معدل التبريد | 2-5°C/min |
طاقة التدفئة | 10KW*2 |
مراقبة محتوى الأكسجين | ≤500PPM (خيار:≤50PPM) |
الجهد العامل | AC3Ø 5W 380V 50/60HZ |
الطاقة الكلية | 21 كيلوواط |
بروتوكول الاتصال MES | المعيار |
فئة النظافة | الفئة 1000 |
معايير الجهاز | |
البعد ((LxWxH) | 1700 ((L) * 1200 ((W) * 1800 ((H) ملم |
الوزن | 500-800 كجم |
اللون |
أبيض مشرق مجعد |
الإعلانات:
1متطلبات مصدر الغاز: ضغط عمل النيتروجين (ضغط أثناء الاستخدام) > 0.5 إلى 0.8Mpa، نقاء النيتروجين 99.999٪.
2متطلبات الطاقة:
1سلك ثلاثي المرحلة الخامسة: الجهد 380 فولت، التردد 50/60 هرتز؛
2قطر السلك أعلى من 25mm2، مفتاح حماية التسرب 100A، مفتاح حماية التسرب سعة تسرب 150-200mA.
3متطلبات الضغط على الأرض: 1000 كجم/م2.
4متطلبات التهوية الخارجية: قناة الهواء ذات القطر الخارجي 2-Ø38mm، حجم التهوية 2*5M3/min.
5المتطلبات البيئية: يجب أن تكون درجة حرارة المحيط بين 5-40 درجة مئوية ، و يجب أن تكون نطاق الرطوبة النسبية بين 20-95٪.